中國開始銷售納米尺度3D光學干涉測量系統“VS1800” ：此外，2010年制定了有關三維表面形態評估的標準ISO 25178，確立了評估方法，在這種背景下，實施三維測量的企業和研究機構等日益增多。因此，需要我們急切實現有關表面形態測量上的測量與分析的簡單化以及應對多種樣品的測量問題。
此次發售的“VS1800”產品， 搭配了符合ISO 25178標準的分析工具 “ISO 25178參數對比工具”。在ISO 25178標準中規定了評估表面性狀的32個項目的參數，但在對比樣品時，選擇適合評估的參數很難，成為分析業務的難題。“ISO 25178參數對比工具”，通過按差異程度大小順序自動對測量的參數值進行依次排序，可輕松選出適合對比樣品的參數，從而支持客戶的分析業務。
此外，“VS1800” 產品，通過光干涉方法*4除了可實現大視野測量、0.01nm的垂直方向分辨率*5、高重現性外，亦通過日立優良技術科學自主研發的技術，繼承了多層膜的無損傷測量等傳統產品的高測量性能。此外，該產品還可搭配“大傾斜角測量選配 ”*6功能，通過捕捉大傾斜角斜面的微弱的干涉條紋變化，實現傳統的光干涉方式無法實現的大傾斜角斜面測量，從而應對多種多樣的樣品表面性狀的三維測量。
中國開始銷售納米尺度3D光學干涉測量系統“VS1800”
l2019年3月5日，日立優良技術科學公司宣布，在中國開始銷售利用光干涉原理進行非接觸式無損傷三維表面形態測量的納米尺度3D光學干涉測量系統“VS1800”，該產品搭配有支持多目的表面測量標準“ISO 25178*1參數對比工具”，通過簡單而準確的樣品測量支持客戶的分析業務，與此同時，憑借不斷創新積累的三維測量性能，實現高精度、高分辨率的表面性狀的測量。
